台阶仪（探针式表面轮廓仪）
[ 基础信息 ]
生产国家 : 德国
制造厂商 : Bruker
购置日期 : 2024-09-14
规格型号 : DEKTAK XT
[ 分类信息 ]
设备类型 : 显微镜
设备编号 : 2024030990
[ 联系信息 ]
联系人 : 王宏, 邓海涛
存放地址 : 分析测试中心105
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
高级测试系统主机、应力测试软件、保护罩、电脑主机、专用8英寸真空卡盘、LIS 3 B性探针、23'LCD显示器
主要功能及特色 :
台阶仪主要用于测试材料的薄膜厚度、元器件结构的台阶高度，以及材料表面的三维形貌，表征材料表面应力、粗糙度、波纹度等信息
主要规格及技术指标 :
1、最大扫描长度为200mm；
2、测试所允许的最大样品高度50mm；
3、垂直方向的扫描范围为1000微米；
4、测试高度方向的重复性＜0.4nm（1微米的标准台阶）；
5、 测试垂直分辨率1 nm（6.55微米量程）；
6、XY移动载物台，X：150mm行程,Y：150mm行程；
