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1.离子枪:潘宁式离子枪,装载微小磁铁,聚焦离子束设计,聚焦均匀,无耗材。
2.离子枪角度:正负调整角度≤10°,每支离子枪可独立调节。
3.主舱室样品台:样品台可以360度旋转,1到6 rpm连续可调。
4主舱室样品台移动范围:可以X和Y方向的移动,移动范围:≥±0.5mm。
5离子枪束能量:最低电压≤0.1Kev,最高电压≤8Kev。可在不同电压下自动优化离子束束流。
6.样品更换:Whisperlock设计,样品更换时间<60s,无需破主舱室真空。
7. 液氮冷台控温系统:集成在主机上,杜瓦罐容量≥350mL,并且具备一键加热功能;温度控制范围-170℃-室温。